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发布时间:2020-07-30 01:56:33
氦气检漏
氦质谱检漏的检测精度高,可达到1×10-7Pa·m3/s。电池氦检前先将电池里的空气抽掉,然后注入氦气,用氦质谱检漏仪探测有没有氦气漏出,从而判断电池的气密性是否完好。电池氦检一般为两种方式:一种是在电池生产的中间环节,即在电池烘干注液之前进行检漏,电芯在真空箱内充氦气及检测,此法可以检测电池盖板、盖板焊接及电芯壳体等部位的气密性是否达标;1真空箱单元真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。另一种是在成品环节检漏,电芯在箱外充氦,电芯注入电解液的同时将氦气充入电芯内部,然后将电池放入真空箱内进行检漏。
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真空箱式氦检漏设备【验收标准】
由于真空箱式氦检漏系统是比较***的设备,所以需要用户进行验收,以免后期使用过程中产生问题,难以解决。首先是设备在运往用户工厂后根据技术协议逐条验收,之后进行操作、维修等技术培训,验收合格后双方签字生效。然后需方收到设备后应及时对设备进行验收,以免延期因保管出现的产品质量问题。需要注意系统调试需要用测试工件。大漏判定功能,微漏定量检漏功能,工件泄漏总的判定功能,并能满足连续生产的需求,具有较高的自动化程度,操作简便、安全、可靠。
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充气开关柜检漏设备
由于工件内外压差不能大于0.04Mpa,抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压,如果压力差超过设定值,则抽速较快的泵自动停止,等压力差达到规定要求时,泵自动运行,直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。氦气检漏设备的检漏口具有较高的耐压性,检漏率范围广,可检出较大的泄漏和较小的泄漏。
电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能,以及急停按钮,确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全,系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式,以防止传感器失效而对系统造成的伤害。
结构主要采用电脑触摸屏的集散式半导体模块控制系统,分散与集中控制相结合,层次分明、成本低廉、维护方便。上位机采用工控机,用于向PID发布指令、系统运行状态集中管理。
控制系统同时具有自我诊断与报警功能,显示各种故障信息。控制系统同时具有自我校准、连锁保护和报警功能,确保系统本身运行安全可靠和被检工件的安全。
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氦质谱检漏仪的基本原理与结构
氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束,以-定能量注入质分析器,目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。2充氦气回收单元充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大,再通过比对运算,得出泄漏率
真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空,同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构,检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通,由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到,因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。这样,氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比,被检件只与低真空相通,因
此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏,氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。
机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪,油泵工作会有油雾排出,污染工作环境,干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。
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